ESCO-TDS1200Ⅱ IR 红外加热型升温脱附分析仪
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薄膜脱气评估的行业标准。在超高真空环境（10⁻⁷Pa以下）中，对CVD膜或ALD膜进行红外加热，并利用四极杆质谱仪（QMS）对脱附分子进行高灵敏度的实时检测。可高灵敏度地检测相当于单分子层（monolayer）的微量氢气和水。也可进行定量分析。
产品详情
产品概述
红外加热型升温脱附分析装置 ESCO-TDS1200 IR 是一种高精度分析装置，可在超真空环境（10-7Pa 以下）中，利用红外线对样品进行程序升温，并使用四极杆质谱仪（QMS）实时观测脱附分子。该设备是薄膜脱气评估的行业标准，可高灵敏度地检测相当于单分子层（monolayer）的微量氢气和水，也可进行定量分析。
核心特点
- 超高真空环境：10-7Pa 以下的超真空环境，确保测量精度
- 红外加热技术：采用红外线加热，实现快速、均匀的程序升温
- 四极杆质谱仪：实时监测脱附分子，高灵敏度检测
- 宽温区覆盖：室温至 1700°C，满足不同材料分析需求
- 定量分析能力：可检测单分子层级别的微量气体
技术参数
| 参数 | 规格 |
|---|---|
| 真空度 | 10-7Pa 以下 |
| 加热方式 | 红外加热 |
| 温度范围 | 室温 ~ 1700°C |
| 检测器 | 四极杆质谱仪（QMS） |
| 检测灵敏度 | 单分子层（monolayer）级别 |
| 分析气体 | H₂、H₂O、O₂、CO、CO₂ 等 |
应用领域
半导体
晶圆脱气评估、CVD/ALD 薄膜分析
液晶
显示面板材料气体释放分析
有机 EL
OLED 材料纯度与脱气检测
电气
电子元器件材料分析
钢铁
金属材料氢脆评价
汽车
汽车零部件材料检测
陶瓷
陶瓷材料气体成分分析