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专注超高真空，超高温环境下TDS热解析分析仪器研发集成，专业解决方案
ESCO-TDS1200Ⅱ IR 红外加热型升温脱附分析仪
薄膜脱气评估的行业标准。在超高真空环境（10⁻⁷Pa以下）中，对CVD膜或ALD膜进行红外加热，并利用四极杆质谱仪（QMS）对脱附分子进行高灵敏度的实时检测。可高灵敏度地检测相当于单分子层（monolayer）的微量氢气和水。也可进行定量分析。
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ESCO-TDS1200Ⅱ IR BGM 配备带隙监测器的升温脱附分析仪
为高速升温和低温范围测量提供"直接测定样品温度"这一全新选择。
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ESCO-TDS1200Ⅱ IR PKG 气密封装内气体分析仪（TDS连接型）
本装置配备了连接在ESCO-TDS1200II IR主机上的IVA功能。通过IVA功能，可测量陶瓷、金属、玻璃等封装材料内部微型器件中以水蒸气为首的各种气体含量。
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ESCO-TDS600 IR H2 升温脱附氢分析仪
升温脱附氢分析仪 ESCO-TDS600 IR H2搭载了高灵敏度质谱仪，能够精确测定金属材料及电镀膜中释放出的数ppb级微量氢气。本装置虽采用质谱分析法（真空型），却实现了"只需关闭盖子并按下启动按钮"的简易操作，即使是初学者也能轻松上手。从新材料开发到制造现场的质量管理，我们将肉眼不可见的"延迟破坏"风险转化为确凿的定量数据，为下一代制造业提供强有力的支持。
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ESCO-TDS-100 Cryo H2 低温钢中扩散性氢分析装置
直击氢脆与延迟断裂核心的低温TDS（L-TDS）。在高强度钢的"氢脆（延迟断裂）"现象中，被困在晶格缺陷（位错、原子空位等）中的氢，虽然其作用备受重视，但一直难以进行分析。目前正在开发的ESCO-TDS-100 Cryo H2，通过从零下100℃开始的精密升温，能够清晰地分离并提取这些氢。凭借彻底的防结霜措施，可稳定捕捉"真实氢分布"，有助于阐明氢脆化机制。
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ESCO-TDS1700 IH 高频加热型升温脱附分析仪
高频加热型升温脱附分析装置ESCO-TDS1700 IH，是一种在超真空环境（10Pa以下）中，通过电磁感应加热对样品进行程序升温，并利用四极杆质谱仪（QMS）实时观测脱附分子的分析装置。由于处于超高真空环境，可在抑制次级反应影响的理想状态下，对脱附成分进行高灵敏度观测。可对钢铁等金属材料进行高效加热，并能进行超过1700℃的测量。还可对作为钢铁材料氢脆（延迟断裂）因子的钢中扩散性氢进行低温TDS测量。设备本体的控制由PLC（可编程逻辑控制器）自动完成，并采用触摸屏作为人机界面。
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定制设备的开发与制造
我们将运用在TDS积累的技术，将客户的理想变为现实。在电子科学领域，我们以在升温脱附分析仪（TDS）开发过程中历经多年磨砺的核心技术为基础，承接各类定制设备的委托开发业务。由于涉及许多尖端研发项目，出于保密考虑，其中大部分项目无法公开，但在此我们将介绍部分可公开的开发案例，以供参考。
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