Semiconductor Industry

半导体行业

针对半导体制造中的薄膜脱气问题，提供超高真空环境下的 TDS 分析方案，实现单分子层级别的微量气体检测，助力先进制程工艺开发。

应用领域详情

针对半导体制造中的薄膜脱气问题，提供超高真空环境下的 TDS 分析方案，实现单分子层级别的微量气体检测，助力先进制程工艺开发。

检测 CVD 工艺沉积薄膜中的氢气、水分等杂质含量

原子层沉积薄膜的脱附分子实时监测与定量分析

晶圆表面与内部气体成分的高灵敏度检测

通过脱气数据分析支持半导体制造工艺优化

红外加热型升温脱附分析仪

薄膜脱气评估的行业标准。在超高真空环境（10⁻Pa 以下）中，对 CVD 膜或 ALD 膜进行红外加热，并利用四极杆质谱仪（QMS）对脱附分子进行高灵敏度的实时检测。可高灵敏度地检测相当于单分子层（monolayer）的微量氢气和水。